【2025年最新技術】半導体ウエハキャリア（Wafer Cassette）がフルアップグレード｜スマート搬送＋RFIDセンシング＋機能性コーティングをワンストップで実現
耐摩耗・帯電防止・高互換性のウエハキャリアをお探しですか？
宸軒科技は15年以上の開発経験をもとに、スマート型ウエハキャリアを提供。
TSMC、ASE（日月光）、SPIL（矽品）、DISCO、ASM など、業界を代表する大手企業に採用されています。
カスタム対応のRFID追跡モジュールを搭載し、製造現場における「可視化・記録・通信機能」を実現するスマート搬送ソリューションです。
✅ 宸軒科技ウエハキャリアが選ばれる理由
🧩 2〜12インチウエハ対応、自動搬送・プロセス設備とのフル統合
🧠 内蔵フォースセンシングモジュールでウエハ破損を事前防止
🛡️ 機能性コーティング：帯電防止・耐薬品性・導電性など選択可能
📡 RFIDモジュールをカスタム設計、製造プロセス全体のトレーサビリティを強化
🏭 15年のカスタム製造実績、国内外の大手半導体メーカーに納入実績多数
🔍 市場動向：ウエハキャリアは「受動容器」から「スマート情報ノード」へ進化
5G・AIoT時代に対応するスマートファクトリー化が進む中、従来型のウエハカセットでは高信頼性・高速処理ニーズに対応しきれません。
次世代ウエハキャリアに求められる機能は以下の通りです：
✔ 構造保護＋データ記録＋プロセストレーサビリティ＋自動識別
✔ AOI / EFEM / AMHS / クリーン搬送モジュールとの統合対応
✔ SECS/GEM、SMIF、FOUPなど国際標準準拠
✔ 無人化工場・スマート倉庫・MES管理システムに対応
📡 宸軒科技ウエハキャリア × RFID モジュールで「ウエハのID管理」を実現
RFID統合により、ウエハ1枚ごとの「電子ID」を付与し、下記情報をリアルタイムで記録・共有可能：
ウエハ番号、現在のプロセスステーション、装置連携時刻
前工程・次工程の予測スケジュール
搬送経路や保管履歴の完全記録
🧠 製造WIPの可視化と品質管理を高度化し、スマートファクトリーを加速！
🚀 技術ハイライト：センシング＋識別＋追跡＝未来プロセスの強力パートナー
🧲 フォースセンシングモジュール（Force Sensing Module）
圧電式／フィルム型の高感度センサーを搭載
ウエハへの異常圧力をリアルタイム検出
MESと連携し、ウエハイベント履歴を記録可能
📡 RFIDトラッキングモジュール
HF / UHF（13.56MHz / 900MHz）帯に対応
ISO/IEC 15693、18000-6Cなどの国際標準に準拠
組込み型・外付け型どちらも対応可能
高温環境、クリーンルーム、真空設備での使用にも適合
🛡️ 多機能コーティングの選択肢
| コーティング種別 | 特徴・効果 |
|---|---|
| 帯電防止 | 静電破壊（ESD）のリスク低減、精密回路の保護 |
| 導電性コーティング | 静電気の拡散、防止。自動搬送との高相性 |
| 耐薬品性 | エッチング・洗浄液による腐食を防止 |
| 耐摩耗コーティング | 長期使用時の摩耗を抑え、寿命を延長 |
| 超滑性コーティング | ウエハの傷を軽減し、取り出し効率を向上 |
🎯 幅広い適用範囲：前工程から後工程、さらには特殊材料にも対応
ウエハ前工程：EUV露光／エッチング／拡散／洗浄プロセス
ウエハ後工程：CSPパッケージ／テスト／ダイシング／搬送・保管
自動化設備との連携：AMHS、EFEM、ロードポート、真空ロボットアーム
先端用途：SiC、GaN、MEMSなどの特殊ウエハ搬送・保護に最適
宸軒科技のウエハキャリアは、次世代の半導体製造現場におけるスマート化・トレーサビリティ・高信頼性を支える要となります。
👉 半導体キャリアにおける最新RFID対応、センシング技術、スマート工場向けソリューションをお探しの方は、ぜひお問い合わせください。