半導体製造工程向け高性能カーボンファイバー部品ソリューション

ナノスケールへの進化、高速化、自動化が進む半導体製造装置において、従来の金属材料に代わり「カーボンファイバー複合材料」が注目されています。高剛性、低熱膨張率、優れた耐薬品性、そして軽量性を兼ね備えるこの素材は、先端プロセス装置におけるキーパーツとして理想的な選択肢です。

宸軒科技は、精密構造用素材の分野で長年の実績を持ち、お客様のニーズに応じたカスタムカーボンファイバーソリューションを提供しています。フォトマスク搬送システム、ウエハー固定治具、レーザー加工プラットフォーム、AOI自動化モジュール、ロボットアーム連結部、クリーンルーム用構造部品など、数多くの先端領域で導入実績があります。

なぜ半導体装置にカーボンファイバーを選ぶのか？

🌡 超低熱膨張係数（CTE）
急激な温度変化にも形状安定性を維持し、熱変形リスクを低減。高精度な長時間運転を実現。

🪶 超軽量かつ高剛性
アルミ合金より軽く、より高剛性。装置の可動質量を削減し、エネルギー消費の抑制、サーボ制御の精度向上、生産速度の向上に貢献。

🧪 高耐薬品性・高クリーン性
酸性・アルカリ性ガスや揮発性物質に対する優れた耐性を持ち、表面処理（帯電防止・耐腐食）にも対応。クラス10〜1000のクリーンルームに対応可能。

🛠 多様な形状設計に対応
中空ビーム、ハニカム構造、異形パネル、薄肉板、精密治具フレームなど、多彩な形状にカスタマイズ可能。CNC加工、真空成形、熱圧成形、レーザー加工、金属との複合接合にも対応。

技術開発の強み｜宸軒科技のコア技術

1. 材料構造のシミュレーションと力学解析

FEM／CAEによる構造解析を活用し、熱膨張率、剛性、共振周波数を精密予測。
最軽量・最大剛性比・最小変形量の設計最適化をサポート。

2. 多軸カーボンクロス・プリプレグの選定

部品機能に応じて高弾性（HM）、高強度（HS）、中弾性の炭素繊維布を選定。
巻き方向や層間角度（0°／45°／90°／135°）もカスタム可能で異方性を制御。

3. 高精度加工技術

真空高温圧縮成形、CNC五軸加工、レーザー穴あけ、金属部品との接着に対応。
製品公差 ±0.02 mm 以内の精度管理が可能。
対応製品例：フレーム、サポートプレート、吸着アーム、ガイドビーム、低温光学ベースなど。

徹底した品質保証体制

宸軒科技では、すべてのカーボンファイバー製品において高い品質と信頼性を確保するため、厳格な検査制度を構築しています：

• 寸法精度全数検査（三次元測定機・レーザー干渉計）

• 非破壊検査（超音波・赤外線）

• 熱サイクル耐久テスト（-40°C〜+150°C）

• 重量・密度トレーサビリティ管理

• クリーンルーム等級での洗浄処理と梱包

カスタム設計対応｜ワンストップカーボンファイバーソリューション

宸軒科技は、単なる製造者に留まらず、お客様の設計パートナー・技術顧問として、材料選定から構造提案、試作、量産までを社内一貫体制でサポートします。開発リードタイムを短縮し、設計の実現可能性を確保します。

✅ 2D／3D図面設計とシミュレーション分析対応
✅ 多品種・少量のスピード試作サポート
✅ 自動化設備・モジュールメーカーとの共同開発対応
✅ 金属、セラミックス、石英との複合構造体製作も可能

宸軒科技 ─ ハイエンドカーボンファイバー製造の信頼パートナー

• カーボンファイバー部品の開発経験10年以上

• 台湾自社工場による自動化生産と安定納期

• 多数の半導体装置メーカー、パッケージング企業、光学モジュールメーカーと取引

• 国際品質基準に対応した量産体制

• 製造現場の課題や新技術ニーズにも柔軟に対応