Hoher Systemstandard für die Reinigung
★Reinigungsservice: Staubfreie Reinigung. Hochreine Werkstatt: Reinraum der Klasse 100 und 10000; automatische Reinigungslinie, DIW-Station und Sauberkeitsanalyselabor mit LPC, APC und IC-Tester usw.★Reinigungsprinzip: Ultraschallreinigung und Sprühreinigung entfernen Partikel- und Ionenverunreinigungen von der Oberfläche der Waferbox. Das Formmaterial ist ultrareines, von der Halbleiterindustrie zertifiziertes Material.