Wafer Frame(晶圓框架)高精度設計與客製化解決方案

PRECISION WAFER HANDLING & SMART AUTOMATION

Wafer Frame 晶圓框架、Film Frame 與快拆載具

從晶圓切割用金屬框、LED Mapping Sorter 用 Bin Frame,到磁扣式快拆 Wafer Frame,宸軒科技提供兼顧精度、耐久性與自動化效率的客製載具方案。

20 年以上專業經驗200+ 家海內外客戶精密加工自動化整合台灣製造
取得客製評估 寄送圖面與需求

內容總結|Wafer Frame 如何提升良率與設備效率?

Wafer Frame 又稱晶圓框架、晶圓鐵環、Film Frame 或 Metal Frame,用於固定切割膠膜與晶圓,並在 Dicing、Grinding、Die Sort、LED Sorter、Prober 與 AOI 等製程中提供定位、搬運及自動化介面。宸軒科技可整合精密金屬加工、熱處理、表面拋光、防鏽清洗、快拆磁扣與專用 Cassette,降低框體變形、鏽蝕、膜面氣泡及換片時間。

  • 產品線:DISCO 標準框、Bin Frame、磁扣式/鎖固式 Wafer Frame 及配套卡匣。
  • 客製能力:尺寸、厚度、材料、定位孔、磁扣、表面處理、Slot 與設備介面。
  • 應用設備:Dicing、Die Sorter、Mapping Sorter、LED/IC Sorter、Prober、AOI 與自動搬運系統。
宸軒科技Wafer Frame晶圓框架Film Frame精密載具
Wafer Frame 晶圓框架:支援切割膜固定、晶圓搬運、快速換片及自動化設備定位。

Wafer Frame 是什麼?

Wafer Frame 是半導體與 LED 製程中的環形或特殊外型載具。晶圓先黏附於切割膠膜,再由 Frame 支撐膜面,使晶圓能穩定進入切割、研磨、挑晶、檢測與封裝設備。

框架的平整度、剛性、厚度、表面粗糙度、耐鏽性與定位特徵,會直接影響膜面貼附、晶圓位置與自動搬運穩定度。若框體變形、鏽蝕或表面品質不一致,可能增加氣泡、污染、定位偏差與設備卡料風險。

三大產品系列|從標準框到智慧快拆載具

01

DISCO Metal Frame

適用晶圓切割與挑檢製程的標準金屬框,可依 6 吋、8 吋及 300 mm 等晶圓規格評估。

DicingDie SortMetal Frame
02

Bin Frame

針對 LED Mapping Sorter 分類與搬運需求設計,支援多種外型尺寸及配套 25-slot Cassette。

LED MappingBin Cassette
03

快拆 Wafer Frame

磁扣式或鎖固式設計,可搭配 LED Sorter、Prober、AOI 與設備專用 Cassette,縮短換片流程。

Quick ChangeAutomation

公司型錄中的標準系列與規格

以下規格依宸軒科技提供的《型錄-產品_20120805-1》彙整,適合作為選型起點;實際供應規格、尺寸公差、材料牌號與設備相容性,請以最新核准圖面及報價資料為準。

系列型號範例型錄規格主要用途
DISCO Metal FrameDTF 2-6-1
DTF 2-8-1
DTF 2-12-1
6 吋、8 吋、300 mm
型錄材料:JFE-SUS420J2
晶圓切割、挑檢及 Film Frame 應用
Bin FrameBF195-20
BF205-30
BF216-25
型錄厚度:1 mm
外型約 195、205、216 mm 系列
LED Mapping Sorter 晶粒分類與搬運
Bin Frame CassetteBC195
BC205
BC216
195×195、205×205、216×216
型錄槽數:25 slot
Bin Frame 儲存、搬運及防掉落管理
磁扣式 Wafer FrameMSWFM6
MSWFM7
MSWFD6
型錄適用設備:MS100、DL899
含 2、6 吋應用範例
LED Sorter、Prober、AOI 快速換片
鎖固式 Wafer FrameMSWFS6
MSWFS7
型錄含 2、4 吋應用範例需螺絲鎖固或既有設備相容的製程
專用 CassetteDLWC
MSWC
DL899:10 slot
MS100:8 slot
快拆 Frame 儲存與設備物流整合

精密製造的四項關鍵技術

材料與熱處理

依剛性、韌性、耐切割與循環壽命選擇不鏽鋼或指定材料,並規劃適合的熱處理與硬度條件。

自動化精密拋光

控制表面粗糙度與一致性,降低人工加工差異,有助於膠膜貼附並減少氣泡與污染風險。

清洗與抗氧化

依專案規劃超音波清洗、烘烤、防鏽及抗氧化處理,提升潔淨度與儲存穩定性。

工程原則:硬度並非越高越好。Wafer Frame 需在剛性、韌性、平整度、表面品質與設備定位需求之間取得平衡,最終材料與處理條件應依實際製程驗證。

磁扣式快拆設計|把換片時間轉化為產能

傳統鎖固式 Frame 需要旋開螺絲、放入子母環、調整壓板位置再重新鎖固;磁扣式設計則以快速取放結構簡化操作。依 2012 年公司型錄案例,磁扣式操作時間約 15 秒,鎖固式約 100 秒,換片時間可減少超過 85%。

15 sec型錄磁扣式換片案例
100 sec型錄鎖固式換片案例
>85%換片時間改善案例

以上為舊型錄特定設備與假設條件下的案例值,並非所有產線的保證數據。實際效益受晶片尺寸、操作流程、設備節拍、人員配置與驗證條件影響。

Bin Frame 與 Cassette|LED Mapping 的穩定物流

LED Mapping Sorter 在分類、搬運與儲存過程中,需要 Frame 與 Cassette 共同維持晶粒位置及批次管理。宸軒科技可提供 Bin Frame、配套 Cassette、背擋及防掉落結構,並依設備 Slot、Frame 外型及自動搬運介面客製。

DISCO 標準鐵環與 Circle Frame

國際創新方向|從被動載具走向智慧 Frame

數位識別

預留 RFID、Data Matrix、條碼或雷射標記位置,串接批次、壽命與清洗履歷。

Predictive Maintenance

以使用次數、設備異常與尺寸檢測資料建立更換門檻,減少突發停機。

Automation-Ready

同步設計 Frame、Cassette、Robot 夾取與感測介面,縮短設備整合與驗證週期。

可客製項目

項目可評估內容客戶價值
幾何與尺寸外徑、內徑、厚度、平整度、孔位、缺口與定位特徵配合晶圓、膜材與既有設備
材料與硬度不鏽鋼、鋁合金或指定金屬;熱處理與硬度條件平衡剛性、韌性、重量與壽命
表面處理拋光、防鏽、抗氧化、清洗、雷射標記改善潔淨度、膜面貼附與追溯
快拆機構磁扣、鎖固、壓板、方向防呆及快速更換降低操作時間與人為錯誤
物流載具專用 Cassette、Slot、背擋、磁吸與防掉落提高搬運安全與自動化相容性
智慧功能RFID、條碼、Data Matrix、使用履歷支援 MES、追蹤及預防保養

從需求到量產的一站式流程

需求確認

確認晶圓、膜材、設備、Frame、Cassette 與產能目標。

設計選材

規劃尺寸、公差、材料、熱處理、表面與快拆介面。

打樣驗證

進行精密加工、清洗、尺寸檢查及實機換片測試。

量產整合

建立檢驗、批次追蹤與穩定供應機制,支援全球客戶。

為什麼選擇宸軒科技?

20+

年專業經驗

整合精密加工、載具、材料與自動化設備技術。

200+

家海內外客戶

具備國際級客戶與跨產業客製專案服務經驗。

1-Stop

Frame 與設備整合

從 Frame、Cassette 到 Robot 與追蹤介面一站式開發。

FAQ|Wafer Frame 常見問題

Wafer Frame、Film Frame 與晶圓鐵環有什麼不同?這些名稱常用於固定晶圓切割膜的金屬或複合材料框架;不同設備商可能使用不同外型、孔位、材料與命名。詢價時建議提供設備型號、圖面或樣品確認。

可以供應 6 吋、8 吋及 300 mm 的 Frame 嗎?公司型錄包含 6 吋、8 吋及 300 mm 的 DISCO Frame 範例。實際供應尺寸、材料與公差需依最新專案規格確認。

磁扣式 Wafer Frame 有什麼優點?磁扣式設計可減少旋鎖螺絲與調整壓板的操作步驟,有助於縮短換片時間、降低螺絲損壞及人為操作差異。實際效益需經設備驗證。

是否提供 Bin Frame 與配套 Cassette?是。可依 LED Mapping Sorter、Frame 外型、Slot 數與搬運條件提供 Bin Frame、Cassette、背擋及防掉落結構。

如何降低 Wafer Frame 生鏽或膜面氣泡?可從材料、熱處理、表面粗糙度、拋光、超音波清洗、烘烤、防鏽與儲存條件共同改善,實際流程依製程潔淨要求評估。

可以整合 RFID 或生產履歷嗎?可以。可評估 RFID、條碼、Data Matrix 或雷射標記,配合 MES、批次管理、使用次數及清洗履歷需求。

需要 Wafer Frame、Bin Frame 或快拆載具方案?

請提供晶圓尺寸、設備型號、Frame 圖面、膜材、使用環境與預估數量,由具備 20 年以上經驗的團隊協助評估精密加工與自動化整合方案。

立即提出需求+886-4-2426-3929chtco@chtco.com.tw