Wafer Cassette (晶圓盒、卡匣)
SEMICONDUCTOR WAFER HANDLING SOLUTION
Wafer Cassette 晶圓盒、晶圓卡匣與配件
從晶圓保護、槽位精密加工到 Robot 夾取配件，宸軒科技提供符合製程與設備需求的客製化晶圓載具及自動化整合方案。20 年以上專業經驗200+ 家海內外客戶精密加工自動化整合客製配件
取得客製評估
寄送圖面與需求
內容總結｜Wafer Cassette 可以解決什麼問題？
Wafer Cassette 又稱晶圓盒、晶圓卡匣或 Wafer Carrier，用於晶圓儲存、搬運、保護與設備上下料。宸軒科技可依晶圓尺寸、厚度、槽數、槽距、材料、ESD、潔淨度及 Robot 介面進行客製，並提供Wafer Cassette 配件、夾取零件與自動化整合。- 晶圓保護：降低刮傷、碰撞、Chipping、Particle 與靜電風險。
- 設備相容：配合 Robot Arm、Load Port、AOI、上下料與感測系統。
- 完整供應：從設計、選材、精密加工、配件到取放驗證的一站式服務。
什麼是 Wafer Cassette？
Wafer Cassette 是半導體、光電、MEMS、化合物半導體及先進封裝製程中的晶圓載具，利用固定槽位將晶圓依指定間距排列，使晶圓在儲存、移動與自動取放過程中保持分離。 對自動化產線而言，Wafer Cassette 不只是容器。槽位位置、平行度、尺寸公差、接觸面、材料及夾取介面，都可能影響晶圓保護、設備辨識與 Robot 取放成功率。三項常見製程痛點與解決方向
01
晶圓損傷或污染
依接觸面、槽距、材料與表面品質進行設計，降低刮傷、邊緣損傷、粒子與靜電風險。02
自動取放不穩定
管理定位基準、累積公差、結構剛性及夾取介面，改善 Robot 取放失敗與設備停機。03
標準品無法適用
依特殊晶圓尺寸、槽距、片數、環境與設備空間，開發 Cassette 本體及專用配件。宸軒科技的核心技術
精密加工
CNC 加工槽位、定位面、夾取介面及組裝零件，依核准圖面管理尺寸與一致性。自動化整合
配合 Robot Arm、Load Port、AOI、上下料機構、感測器及辨識系統進行介面規劃。客製化開發
整合晶圓規格、材料、耐溫、耐化學、ESD、清潔方式及設備條件提出解決方案。Wafer Cassette 可客製規格
| 項目 | 可評估內容 | 應用價值 |
|---|---|---|
| 晶圓規格 | 尺寸、厚度、重量、形狀與特殊基板 | 符合實際晶圓與製程條件 |
| 槽位設計 | 槽數、槽距、接觸位置及取放空間 | 降低碰撞並提升取放穩定性 |
| 材料選擇 | PEEK、PFA、PTFE、PPS、ESD 工程材料、鋁合金或指定材料 | 因應耐溫、耐化學、強度與潔淨需求 |
| 設備介面 | 定位孔、固定座、Robot 夾取及感測介面 | 提升自動化設備相容性 |
| 智慧追蹤 | RFID、條碼、標籤與感測器安裝位置 | 支援批次識別與生產履歷 |
實際材料與尺寸需依溫度、化學品、清洗方式、晶圓接觸條件及設備介面進行工程評估。
Wafer Cassette 配件｜自動化搬運與客製夾取零件
除了 Cassette 本體，宸軒科技亦提供機械手臂專用夾取配件、定位零件、6061 鋁合金配件、ESD 零件與特殊介面開發。配件可依設備行程、負載、取放方向、定位精度與潔淨要求共同設計，降低本體與設備介面不匹配的風險。
配件整合優勢：由同一團隊同時確認 Cassette 本體、配件與 Robot 介面，可減少累積公差與跨供應商溝通問題，縮短設備導入和驗證時間。
從需求到交付的客製流程
需求確認
確認晶圓、片數、環境、Cassette 與配件介面。設計選材
規劃槽位、定位、材料、ESD 與 Robot 取放條件。精密製作
依核准圖面加工本體、配件、組裝並檢查尺寸。驗證交付
依合作範圍執行裝配、取放及設備介面驗證。為什麼選擇宸軒科技？
20+
年專業經驗
整合精密加工、半導體載具與自動化設備經驗。200+
家海內外客戶
具備服務國際級客戶與多元客製專案的實績。1-Stop
本體與配件整合
從 Cassette、夾取配件到設備介面由同一團隊整合。FAQ｜Wafer Cassette 常見問題
Wafer Cassette 與 FOUP 有什麼不同？
Wafer Cassette 通常指具開放式槽位的晶圓載具；FOUP 是前開式密閉載具，常見於 300 mm 高度自動化製程。應依晶圓尺寸、潔淨需求與設備介面選擇。可以客製晶圓尺寸、槽數與槽距嗎？
可以。可依晶圓尺寸、厚度、片數、接觸位置與 Robot 取放空間進行設計評估。可以使用 PEEK、PFA、PTFE 或 ESD 材料嗎？
可依耐溫、耐化學、尺寸穩定性、摩擦、潔淨度及靜電需求評估適用材料。是否提供 Wafer Cassette 配件？
是。可提供 Robot 夾取、定位、固定、6061 鋁合金、ESD、標記及感測介面等客製配件，並與 Cassette 本體共同驗證。可以整合 Robot、Load Port 或 AOI 設備嗎？
可以。宸軒科技可針對自動取放、定位治具、上下料機構、感測元件及辨識系統規劃介面。詢價前需要準備哪些資料？
建議提供晶圓規格、槽數、槽距、使用環境、材料要求、設備介面圖、樣品照片、預估數量及導入時程。需要 Wafer Cassette 本體與配件整合方案？
提供晶圓規格、設備介面、照片或圖面，由具備 20 年以上經驗的團隊協助評估精密加工與自動化整合方案。立即提出需求+886-4-2426-3929chtco@chtco.com.tw 
Wafer Cassette Product
