晶舟盒Wafer Cassette / Wafer Carrier)

半導體製程中不可或缺的高精度載具解決方案

在半導體製造流程中,晶圓(Wafer)是所有IC與電子元件的基礎,而「晶舟盒(Wafer Cassette)」正是確保晶圓在製程中安全、潔淨、穩定運輸與儲存的關鍵載具。

晶舟盒不只是容器,更是串聯製程設備、自動化系統與良率控制的核心介面。隨著製程節點進入先進製造(5nm以下),其重要性已大幅提升。

什麼是晶舟盒(Wafer Cassette)?

晶舟盒是一種專為晶圓設計的精密載具,具備:

  • 多Slot結構(通常可容納25片晶圓)
  • 高精度定位設計
  • 防靜電與低污染材料

其主要功能包含:
✔ 晶圓搬運與儲存
✔ 製程間轉移(Etching / Lithography / Testing)
✔ 保護晶圓避免刮傷與污染

👉 在現代晶圓廠中,晶舟盒同時也是自動化設備接口的一部分,直接影響產線效率與良率


我們的核心優勢|不只是供應商,而是解決方案夥伴

✔ 15年以上半導體載具經驗

  • 深入晶圓製程、封裝、測試流程
  • 熟悉不同尺寸(6吋 / 8吋 / 12吋)應用
  • 提供穩定量產與長期供應能力

✔ 精密加工技術(Precision Engineering)

  • 微米級精度控制(Slot間距 / 平整度)
  • 高一致性量產能力
  • 材料應用:
    • 抗靜電塑料(PP / PEEK / PFA)
    • 高溫材料(耐450°C)
    • 碳纖維複合材料

👉 有效降低Particle與ESD風險


✔ 自動化整合能力(Automation Ready)

  • 完整對接:
    • FOUP / FOSB系統
    • Robot Hand / Load Port
  • 支援SEMI標準(E84 / E87 / E88)

👉 晶舟盒已從「載具」進化為「自動化關鍵介面」


✔ 高度客製化設計能力

  • Slot間距 / 尺寸客製
  • 特殊製程應用(濕製程 / 高溫 / 化學)
  • 客戶設備整合設計
  • 小量打樣 → 大量量產

👉 真正做到「依設備而設計」


✔ 200+國際客戶實績

  • 半導體晶圓廠
  • 封裝測試廠
  • 光電與車用電子產業

遍及:
🌏 台灣 / 日本 / 中國 / 東南亞 / 歐美

全球產業趨勢(2026最新觀察)

1️⃣ 全自動化晶圓廠(Smart Fab)

  • AMHS無人搬運系統普及
  • Cassette需高度標準化與設備相容

👉 「自動化兼容性」成為採購關鍵


2️⃣ 污染控制標準持續提升

  • ISO Class 1–5潔淨需求
  • 極低Particle / Outgassing要求

👉 材料與結構設計成為核心競爭力


3️⃣ 晶圓尺寸與產能升級

  • 主流300mm(12吋)
  • 未來450mm持續發展

👉 載具強度與精度需求同步提升


4️⃣ 高階材料應用

  • 碳纖維
  • 高分子複合材料
  • 抗化學腐蝕材料(PFA)

5️⃣ AI + 智慧製造整合

  • RFID / 智慧識別
  • 即時追蹤與數據管理

👉 晶舟盒正走向「智慧載具(Smart Carrier)」


我們的定位|晶圓載具整合服務商

我們提供的不只是產品,而是完整解決方案:

✔ 設計(Design)

依設備與製程客製最佳結構

✔ 打樣(Prototype)

快速驗證、縮短開發時間

✔ 製造(Manufacturing)

高穩定量產能力

✔ 整合(Integration)

對接自動化設備與產線


SEO關鍵字布局(建議直接使用)

核心關鍵字:

  • 晶舟盒
  • Wafer Cassette
  • Wafer Carrier
  • Semiconductor Cassette

長尾關鍵字:

  • 半導體晶圓載具供應商
  • 客製化晶舟盒製造
  • 抗靜電晶圓彈匣
  • Cleanroom wafer cassette
  • 300mm wafer carrier

未來發展建議(前瞻布局)

從全球趨勢來看,建議提前布局:

🔹 智慧晶舟盒(Smart Cassette)

  • RFID / IoT整合
  • MES系統連接

🔹 高端製程應用

  • EUV製程專用載具
  • 超低污染設計

🔹 材料升級

  • 複合材料(Carbon + Polymer)
  • ESG環保材料

🔹 與設備廠合作

  • 提供整體解決方案(Carrier + Equipment)

結語

在先進製程與智慧製造時代,
晶舟盒不再只是承載工具,而是影響良率與效率的關鍵元件。

我們結合:
✔ 精密加工
✔ 自動化整合
✔ 高度客製化能力

協助客戶在全球半導體供應鏈中,建立真正的競爭優勢。

產品簡介

▲晶舟盒

晶舟盒——系列

        序號1
品名4″晶舟盒
型號CHTCOPP0004
規格尺寸102mm
材料PP
包裝規格25PCS/carton
  序號2
品名6″晶舟盒
型號CHTCOPP0006
規格尺寸152mm
材料PP
包裝規格25PCS/carton

▲12吋FOUP

  • 規格型號:12英寸
  • 材料:PP
  • 用途:放置與輸送晶圓 Size:4/5/6/8/12 inch 
                       相關簡介: 提供工業設備自動化介面。

  • 上蓋內的彈片設計能有效避免晶圓轉動,防止晶圓破損,以及減少particle產生。
  • 組合設計有效防止cassette有運輸中移動,給晶圓運輸過程中提供有效保護。
  • 設計在美化外觀的同時,又有效降低產品重量。