碳纖維在半導體精密設備中的應用
專為半導體製程打造的高性能碳纖維零組件解決方案隨著半導體製程邁向奈米等級、機台自動化與高速化持續發展,「碳纖維複合材料」憑藉其高剛性、低熱膨脹、高耐化學性與輕量化特性,逐漸取代傳統金屬材料,成為先進製程設備中關鍵零組件的理想選擇。宸軒科技深耕精密機構材料開發,提供客製化碳纖維解決方案,成功應用於 光罩傳輸系統、晶圓夾治具、雷射加工平台、AOI自動化模組、機械手臂連桿、無塵室結構件 等高要求領域。為什麼選擇碳纖維應用於半導體設備?🌡 超低熱膨脹係數(CTE)即使在高低溫快速變化環境中,碳纖維仍可保持幾何穩定性,降低熱變形風險,保證精密設備長時間高精度運作。🪶 極輕重量比鋁合金還輕、剛性卻更高,大幅降低設備運動質量與耗能,提升伺服控制精度與生產速度。🧪 高耐化學性與潔淨度碳纖維對酸鹼氣體與揮發性物質具有優異抗性,並可進一步搭配表面防靜電或耐腐蝕塗層,適用於Class 10~1000 無塵室環境。🛠客製加工彈性可依照應用需求設計成空心梁、蜂巢結構、異形面板、薄壁板或精密治具框體,支援 CNC、真空壓模、熱壓成型、雷射加工與金屬複合接合。技術開發重點|宸軒科技的核心能力1.材料結構模擬與力學分析
從材料選型、結構建議、樣品打樣到正式量產,皆由內部團隊一條龍服務,協助您大幅縮短開發週期並確保設計可行性。✅ 提供 2D/3D圖面設計與模擬分析
✅ 少量多樣快速打樣支援
✅ 配合自動化整合與模組廠同步開發
✅ 可與金屬、陶瓷、石英等材料結合製作複合結構件宸軒科技,您在高端碳纖維製造上的可靠夥伴
- 使用FEM/CAE模擬分析,進行熱膨脹、剛性與共振頻率預估
- 協助客戶最佳化設計:達到最輕結構、最大剛性比、最少變形量
- 根據零件功能選擇高模數(HM)、高強度(HS)或中模碳纖布
- 客製纏繞方向與層間角度(如 0/45/90/135度),滿足異向性控制
- 採用真空高溫壓製、CNC五軸加工、雷射打孔與金屬件複合黏接技術
- 成品尺寸公差可控於 ±0.02 mm 內
- 適用產品如:框架、支撐板、吸附臂、導引梁、低溫光學平台等
- 尺寸精度全檢(使用三次元與雷射干涉儀)
- 纖維結構無損檢查(Ultrasound/IR)
- 熱循環穩定測試(-40°C ~ +150°C)
- 重量與密度追蹤控管
- 無塵室等級清潔處理與包裝
從材料選型、結構建議、樣品打樣到正式量產,皆由內部團隊一條龍服務,協助您大幅縮短開發週期並確保設計可行性。✅ 提供 2D/3D圖面設計與模擬分析
✅ 少量多樣快速打樣支援
✅ 配合自動化整合與模組廠同步開發
✅ 可與金屬、陶瓷、石英等材料結合製作複合結構件宸軒科技,您在高端碳纖維製造上的可靠夥伴
- 專業碳纖維零件開發經驗超過10年
- 台灣自有工廠,全自動化製程、穩定交期
- 服務多家半導體設備商、封裝廠與光電系統整合商
- 國際品質規格驗證,量產能力具競爭力
- 技術團隊能與您共同解決製程挑戰與創新需求
可依客戶需求複合材料加工製作
專業石英加工
用於光學檢測與半導體製程的高精度解決方案
在高精密產業如光學檢測系統與半導體製程設備中,「石英玻璃」因其出色的光學透光率、熱穩定性與化學惰性,被廣泛應用於關鍵零組件之中。宸軒科技專注於高精密石英加工服務,擁有完整設備與製程能力,提供客戶從圖面設計、材料選型、精密加工到嚴格檢測的一站式解決方案,協助各大科技設備廠實現高品質、高穩定度的石英零件需求。為何選擇宸軒科技的專業石英加工?✅ 高純度石英材質供應鏈整合
✅ 專業CNC石英加工技術與模組整合能力
✅ 符合無塵室與高溫製程需求的潔淨處理
✅ 客製化生產,少量多樣亦可快速交付
✅ 服務多家半導體、光電與設備大廠石英加工技術重點|我們的核心優勢🔬 高精度切削與研磨技術
品質保證與檢驗機制我們深知石英件在高階設備中必須具備高度穩定性與一致性,因此建立以下品質機制:🔍 尺寸/外觀全數檢驗(含高精度量測工具、顯微檢查)
📏 厚度均勻度與平整度檢查
🔬 光學透過率檢測(針對UV/IR需求提供對應檢測)
💧 離子殘留測試與潔淨度確認
📦 真空潔淨包裝,確保交付品質客製化石英加工能力|設計與技術並重宸軒科技提供完整客製化石英加工解決方案,包含:
✅ 專業CNC石英加工技術與模組整合能力
✅ 符合無塵室與高溫製程需求的潔淨處理
✅ 客製化生產,少量多樣亦可快速交付
✅ 服務多家半導體、光電與設備大廠石英加工技術重點|我們的核心優勢🔬 高精度切削與研磨技術
- 採用高階CNC石英加工中心,精度達 ±0.01 mm
- 提供多種厚度與曲面處理,支援異形、槽孔、倒角等複雜設計
- 石英材質耐高溫達1000°C以上,適用於真空、氣氛爐、雷射加工設備
- 熱膨脹係數極低,確保高溫環境下結構穩定不變形
- 高光學透光率(UV、IR透過率可達90%以上)
- 抗酸鹼與等離子腐蝕,適用於蝕刻、CVD、PVD等製程
- 完整無塵室清潔流程,確保產品符合Class 100等級
- 每一片石英件皆進行離子清洗與無塵包裝,適用直接上機
| 應用領域 | 石英部件示例 |
| 半導體製程設備 | 石英舟、石英管、晶圓載具、環狀加熱罩 |
| 光學/雷射檢測設備 | 透光視窗、石英平台、光學鏡座、樣品片 |
| 化學氣相沉積CVD | 石英反應槽、氣體分配管、擴散管 |
| 真空設備/乾蝕刻系統 | 真空視窗、絕緣載台、導光件、反射鏡架 |
📏 厚度均勻度與平整度檢查
🔬 光學透過率檢測(針對UV/IR需求提供對應檢測)
💧 離子殘留測試與潔淨度確認
📦 真空潔淨包裝,確保交付品質客製化石英加工能力|設計與技術並重宸軒科技提供完整客製化石英加工解決方案,包含:
- 依照客戶3D圖檔/2D工程圖快速打樣
- 工程團隊可提供設計優化建議,提升耐用性與加工性
- 可支援特殊鍍膜處理、金屬零件整合、異材接合模組
- 小量/多樣/快速開模皆可支援,加速產品開發週期
- ✅ 擁有10年以上石英加工經驗與專業團隊
- ✅ 台灣在地生產,穩定交期與品質控管
- ✅ 配合半導體、光電、雷射、生醫、檢測等高精密產業
- ✅ 客戶涵蓋多家國際知名半導體設備大廠
- ✅ 提供從設計諮詢到批量生產的完整解決方案
石英棒
石英圓板
石英環
專業陶瓷加工
應用於半導體與光學檢測設備的高精密解決方案
在高端精密產業中,如半導體製程設備、光學檢測系統及雷射設備等,高性能陶瓷材料(如氧化鋁、氮化鋁、氮化矽)因其卓越的耐高溫性、絕緣性、抗化學性與結構穩定性,已成為關鍵零組件不可或缺的材料。宸軒科技擁有多年深耕於精密陶瓷零件加工的經驗,結合自有技術與自動化加工設備,提供客製化陶瓷製品設計與製造,成功協助眾多半導體與光電設備領導品牌優化製程品質與設備穩定性。為什麼選擇宸軒科技的陶瓷加工服務?🔹 專精精密陶瓷成型與加工製程
🔹 少量多樣與高強度客製化製品快速交付
🔹 高絕緣、高硬度、高穩定性陶瓷材料應用經驗
🔹 品質追蹤與完整檢測流程,全程台灣製造技術開發重點|精密陶瓷零件的優化加工能力💡 高強度陶瓷材料應用
品質保證機制|零瑕疵的製造標準🧩 全流程ISO級生產控管
🔍 尺寸、形狀、平整度與同心度全數檢驗
📏 高精度CMM與光學量測設備導入
🧼 離子殘留與微粒清潔度檢驗,符合無塵需求
📦 抗震包裝與氣密封裝,確保出貨品質客製化製程整合|從設計到交付一站式服務我們了解客戶在開發新型設備與製程時,對材料與設計的多變需求,因此提供:
🔹 少量多樣與高強度客製化製品快速交付
🔹 高絕緣、高硬度、高穩定性陶瓷材料應用經驗
🔹 品質追蹤與完整檢測流程,全程台灣製造技術開發重點|精密陶瓷零件的優化加工能力💡 高強度陶瓷材料應用
- 採用高純度氧化鋁(Al₂O₃)、氮化鋁(AlN)、氮化矽(Si₃N₄)等材料
- 適用於高溫、高壓、強腐蝕的製程環境
- 高精度研磨與雷射切割,尺寸公差可控制在 ±0.01 mm
- 表面粗糙度(Ra)可達奈米級,滿足高精度組裝需求
- 材質具優異抗酸鹼性與電漿蝕刻耐受度
- 支援無塵加工與超音波清洗,適用於Class 100設備應用
- 可依圖紙或3D檔製作,客製孔位、螺紋、凹槽、曲面結構
- 可整合金屬陶瓷複合件,支援複合加工與異材接合
| 應用設備類型 | 陶瓷零件示例 |
| 半導體製程設備 | 絕緣載具、離子蝕刻室內襯、陶瓷噴嘴、晶圓夾具 |
| 光學與雷射檢測系統 | 陶瓷支架、透光孔位、光學平台固定座 |
| CVD/PVD製程腔體 | 氣體導流板、陶瓷墊圈、等離子反應室絕緣環 |
| 真空系統與機械手臂 | 陶瓷滑軌、絕緣端子、密封元件、精密套管 |
🔍 尺寸、形狀、平整度與同心度全數檢驗
📏 高精度CMM與光學量測設備導入
🧼 離子殘留與微粒清潔度檢驗,符合無塵需求
📦 抗震包裝與氣密封裝,確保出貨品質客製化製程整合|從設計到交付一站式服務我們了解客戶在開發新型設備與製程時,對材料與設計的多變需求,因此提供:
- 客製化設計建議與材質選擇支援
- 試量產/小量樣品彈性生產流程
- 工程師一對一技術溝通與改圖支援
- 台灣在地製造,縮短交期、快速回應客戶修改需求
微孔陶瓷吸盤
陶瓷機械手臂
專業玻璃纖維板加工
高斷熱與低熱膨脹特性,打造高可靠性精密設備解決方案
在高精密產業如半導體製程設備、光學檢測儀器與自動化控制系統中,材料的熱穩定性與機械強度直接影響設備運作的穩定性與壽命。玻璃纖維板(Glass Fiber Reinforced Plastic, GFRP)憑藉其優異的斷熱能力、絕緣性、機械強度及低熱膨脹係數,成為精密設備中不可或缺的結構或隔熱元件。宸軒科技多年來深耕玻璃纖維板精密加工服務,我們在台灣自建自動化加工生產線,提供客製化尺寸、形狀與功能結構設計製作,廣泛應用於各大國內外知名設備廠。💡 關鍵優勢總覽✅ 高斷熱性,適用高溫設備應用場景
✅ 低熱膨脹係數,避免設備位移與誤差產生
✅ 高強度與絕緣性,保障電性與結構安全
✅ 少量多樣與精密開孔客製化設計支援
✅ 全製程品質控管,穩定供應量產需求技術開發重點|玻璃纖維板在精密設備中的應用優勢🔥 優異斷熱效能玻纖板具備優異的熱絕緣能力,能夠有效阻隔製程中的高溫傳導,適用於:
🧪 全製程尺寸與幾何檢驗(使用CMM、雷射量測儀)
🧼 表面清潔度與除塵處理,符合無塵室使用需求
📦 包裝防刮、氣密保護,確保運送安全與完整性
📑 可提供材質證明書、檢測報告與追溯紀錄應用實績範疇|業界信賴的材料夥伴
客製化服務流程|打造您專屬的玻纖解決方案
📈 高客製化彈性|少量多樣快速交付
🧪 嚴格品管系統|全品項檢驗報告可追溯
🧩 技術團隊支援|協助客戶縮短開發時間
✅ 低熱膨脹係數,避免設備位移與誤差產生
✅ 高強度與絕緣性,保障電性與結構安全
✅ 少量多樣與精密開孔客製化設計支援
✅ 全製程品質控管,穩定供應量產需求技術開發重點|玻璃纖維板在精密設備中的應用優勢🔥 優異斷熱效能玻纖板具備優異的熱絕緣能力,能夠有效阻隔製程中的高溫傳導,適用於:
- 半導體封裝/蝕刻/燒結設備
- 雷射加工設備熱區分離
- 光學鏡座與熱源隔離結構
- 精密對位誤差風險
- 高溫冷熱循環導致的位移與鬆動問題
- 高精度開孔、沉孔、凹槽設計
- CNC銑削、雷射切割、成型結構加工
- 雙面研磨與表面拋光處理
- 多層堆疊式玻纖絕緣模組
- 結構支撐與絕緣雙功能複合件
- 高耐熱玻纖框架與固定座
🧪 全製程尺寸與幾何檢驗(使用CMM、雷射量測儀)
🧼 表面清潔度與除塵處理,符合無塵室使用需求
📦 包裝防刮、氣密保護,確保運送安全與完整性
📑 可提供材質證明書、檢測報告與追溯紀錄應用實績範疇|業界信賴的材料夥伴
| 應用設備類型 | 玻纖板應用範例 |
| 半導體製程設備 | 絕緣隔熱板、熱區阻斷結構、晶圓固定底板 |
| 光學檢測系統 | 精密支撐結構、光學模組隔熱保護件 |
| 雷射加工設備 | 高溫反射區隔板、雷射模組結構基座 |
| 自動化搬運機構 | 絕緣滑軌、定位底座、機構支撐板 |
- 需求溝通:圖面或草圖皆可,支援2D/3D設計檔案
- 工程評估:材料建議、結構可行性、耐溫性能評估
- 樣品試作與優化建議:支援樣品打樣與快速修正
- 穩定量產與快速交期:自有工廠全製程生產與包裝出貨
📈 高客製化彈性|少量多樣快速交付
🧪 嚴格品管系統|全品項檢驗報告可追溯
🧩 技術團隊支援|協助客戶縮短開發時間
玻璃纖維板
點膠針
點膠針頭耗材,涵蓋各種材質和規格,可滿足不同的點膠需求。
尺寸: 針長:13 mm,針徑:1.49 mm,針錐:30度,針尖:0.20mm
尺寸: 針長:13 mm,針徑:1.49 mm,針錐:30度,針尖:0.25mm
頂針
尺寸: 針長:17 mm,針徑:0.7 mm,針錐:10度,針尖:22 um
