晶舟盒Wafer Cassette / Wafer Carrier）
SEMICONDUCTOR WAFER CARRIER SOLUTION
晶舟盒 Wafer Box／Wafer Cassette／Wafer Carrier
針對半導體晶圓搬運、儲存、製程間轉移與自動化設備銜接需求，宸軒科技提供晶舟盒、Wafer Cassette、Wafer Carrier 與 FOUP 相關載具評估，結合20年以上專業經驗、精密加工能力與自動化整合技術，協助降低刮傷、污染、ESD 與搬運不穩定風險。20年以上專業經驗精密加工能力自動化整合技術200+海內外客戶依設備與製程客製
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內容總結｜晶舟盒解決什麼問題？
晶舟盒是半導體晶圓在製程間搬運、暫存、輸送與自動化設備銜接時使用的精密載具，常見英文名稱包含 Wafer Box、Wafer Cassette、Wafer Carrier 與 Semiconductor Cassette。採購時不只要看尺寸，還要同步評估 Slot 間距、材料、防靜電、耐溫、潔淨度、定位方式與設備介面。- 用途：晶圓搬運與儲存、Etching／Lithography／Testing 等製程間轉移、出貨或產線保護。
- 核心優勢：協助穩定晶圓定位，降低刮傷、Particle、ESD 與搬運過程中的破片風險。
- 選型結論：4吋、6吋、8吋、12吋與 FOUP 相關需求，建議依晶圓尺寸、製程環境與自動化設備介面進行工程評估。
什麼是晶舟盒（Wafer Cassette）？
晶舟盒是一種專為晶圓設計的精密載具，主要用於承載多片晶圓並維持片與片之間的固定間距。原頁說明其常具備多 Slot 結構、高精度定位設計、防靜電與低污染材料等特性，適用於晶圓搬運、儲存、製程間轉移與晶圓保護。 在現代晶圓廠中，晶舟盒不只是容器，也可能成為自動化設備的介面之一。若需與 Robot Hand、Load Port、FOUP、FOSB、AMHS 或 RFID 追蹤整合，應依設備品牌、接口尺寸、定位基準與驗證條件進行專案評估，不宜未經確認即宣稱為所有產品標準能力。客戶常見痛點
01
晶圓刮傷與破片
Slot 間距、支撐結構與定位不穩，可能造成晶圓移動、碰撞或取放異常，影響良率與產線穩定。02
Particle 與 ESD 風險
材料、表面狀態與搬運環境會影響污染控制。防靜電、低污染與清潔條件需依製程需求確認。03
自動化介面不一致
若載具尺寸、定位 Pin、取放高度或設備介面不一致，Robot、Load Port 或產線搬運可能需要重新驗證。宸軒科技解決方案
精密加工與尺寸控制
依晶圓尺寸、Slot 間距、平整度、外框與定位基準進行設計與加工評估，讓載具更符合實際製程需求。材料與製程環境評估
可依防靜電、耐溫、耐化學、潔淨度或重量需求評估 PP、PEEK、PFA、複合材料等材料方向；實際性能以公司核准資料與測試結果為準。自動化整合導向設計
針對 Robot Hand、Load Port、FOUP／FOSB、AMHS 或 MES／RFID 追蹤需求，可作為專案評估項目，協助載具與設備介面更一致。產品簡介
晶舟盒系列
| 品名 | 4吋晶舟盒 |
|---|---|
| 型號 | CHTCOPP0004 |
| 規格尺寸 | 102mm |
| 材料 | PP |
| 包裝規格 | 25PCS/carton |
| 品名 | 6吋晶舟盒 |
|---|---|
| 型號 | CHTCOPP0006 |
| 規格尺寸 | 152mm |
| 材料 | PP |
| 包裝規格 | 25PCS/carton |
12吋 FOUP
| 項目 | 規格內容 | 採購確認重點 |
|---|---|---|
| 規格型號 | 12英寸 | 300mm wafer設備介面 |
| 材料 | PP | 以核准材料規格與測試資料為準。 |
| 用途 | 放置與輸送晶圓；原頁標示 Size：4/5/6/8/12 inch | 依晶圓尺寸、片數、搬運方式與自動化設備端條件確認。 |
| 相關簡介 | 提供工業設備自動化介面；上蓋彈片、組合設計、降低運輸移動與減少 Particle 等方向 | 上述設計應以產品型號、核准圖面與專案驗證結果確認，不直接視為所有規格的標準能力。 |